15000 تومان
افزودن به سبد خرید
0 فروش 167 بازدید
جزئیات محصول
تعداد قسمت: 1
پسوند فایل: zip
حجم فایل: 1MB
فایل راهنما: ندارد
بسته نصبی: ندارد
امکانات: شامل فایل pdf مقاله لاتین و فایل word ترجمه فارسی (12 صفحه)
تاریخ انتشار: 07 سپتامبر 2018
دسته بندی: ,,,

تبلیغات

كاربرد روش تكرار تغييرات به منظور برآورد انحراف ديافراگم در ميكروفن خازني ممز

چكيده: دراين مقاله روش تكرار تغييرات (VIM) به منظور تحليل انحراف ديافراگم پلي­سيكلني ميكروالكتروسيستم­هاي مكانيكي(MEMS) ميكروفن خازني مورد استفاده قرار گرفته است. تنش­هاي پسماند در مواذ مورداستفاده براي ساخت ديافراگم، خصوصيات و ويژگي­هاي تغييراتي ديافراگم ميكروفن را تغيير مي­دهند و درنتيجه فركانس رزونانس اول ميكروفن، فركانس قطع جريان و حساسيت را تحت تاثير قرار مي­دهد. اغلب وسايل موفق از پلي­سيكلن به عنوان مواد ديافراگم بهره مي­برند چراكه تنش پسماند آن توسط بازپخت در دماي بالا پس از كاشت يون با بورون و فسفر قابل كنترل است. نيروي آكوستيك و صوتي خارجي باعث انحراف از ساختار مي­گردد و VIM يك روش تحليلي توانمند در پيش­بيني رفتار ساختاري و عملكرد ميكروفن است. مقايسه اين روش جديد، راه­حل­هاي تقريبي سابق درجهت حصول اطمينان براي ما درمورد دقت راه­حل بكار مي­رود.

واژگان كليدي: انحراف ديافراگم، روش تكرار تغيير، ميكروفن خازني.

Application of He’variational Iteration Method to the Estimation of Diaphragm Deflection in Mems Capacitive Microphone

Abstract: In this paper, He’s variational iteration method (VIM) is us ed to analyze the deflection of
polysilicon diaphragm of Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) capacitive mic ro phone. The residual stresses in the material used to make th e d iaphragm change the vibrational characteristics of the microphone diaphragm and consequently influence the microphone’s first resonant frequency, cutoff frequency and sens itivity.The mos t succes s ful devices us e polys ilicon as a diaphragm material, b e cause of its residual stress is controllable by high temperature annealing after ion implanta t io n b y boron or phosphorous. Externa l a co u s t ic force causes to deflect the diaphragm of the structure and VIM is a powerful analytical method to predict the structural behavior and the microphone performance. Comparison of this new method with the previous app roximate solution [1], is applied to assure us about the accuracy of solution. Key words: Diaphragm Deflection, variation iteration method, capacitive Microphone.

افزودن به سبد خرید

لطفاً براي ارسال دیدگاه، ابتدا وارد حساب كاربري خود بشويد

محصولات پر فروش

پر فروش ترین محصولات فروشگاه روکساوب