كاربرد روش تكرار تغييرات به منظور برآورد انحراف ديافراگم در ميكروفن خازني ممز
چكيده: دراين مقاله روش تكرار تغييرات (VIM) به منظور تحليل انحراف ديافراگم پليسيكلني ميكروالكتروسيستمهاي مكانيكي(MEMS) ميكروفن خازني مورد استفاده قرار گرفته است. تنشهاي پسماند در مواذ مورداستفاده براي ساخت ديافراگم، خصوصيات و ويژگيهاي تغييراتي ديافراگم ميكروفن را تغيير ميدهند و درنتيجه فركانس رزونانس اول ميكروفن، فركانس قطع جريان و حساسيت را تحت تاثير قرار ميدهد. اغلب وسايل موفق از پليسيكلن به عنوان مواد ديافراگم بهره ميبرند چراكه تنش پسماند آن توسط بازپخت در دماي بالا پس از كاشت يون با بورون و فسفر قابل كنترل است. نيروي آكوستيك و صوتي خارجي باعث انحراف از ساختار ميگردد و VIM يك روش تحليلي توانمند در پيشبيني رفتار ساختاري و عملكرد ميكروفن است. مقايسه اين روش جديد، راهحلهاي تقريبي سابق درجهت حصول اطمينان براي ما درمورد دقت راهحل بكار ميرود.
واژگان كليدي: انحراف ديافراگم، روش تكرار تغيير، ميكروفن خازني.
Application of He’variational Iteration Method to the Estimation of Diaphragm Deflection in Mems Capacitive Microphone
Abstract: In this paper, He’s variational iteration method (VIM) is us ed to analyze the deflection of
polysilicon diaphragm of Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) capacitive mic ro phone. The residual stresses in the material used to make th e d iaphragm change the vibrational characteristics of the microphone diaphragm and consequently influence the microphone’s first resonant frequency, cutoff frequency and sens itivity.The mos t succes s ful devices us e polys ilicon as a diaphragm material, b e cause of its residual stress is controllable by high temperature annealing after ion implanta t io n b y boron or phosphorous. Externa l a co u s t ic force causes to deflect the diaphragm of the structure and VIM is a powerful analytical method to predict the structural behavior and the microphone performance. Comparison of this new method with the previous app roximate solution [1], is applied to assure us about the accuracy of solution. Key words: Diaphragm Deflection, variation iteration method, capacitive Microphone.
لطفاً براي ارسال دیدگاه، ابتدا وارد حساب كاربري خود بشويد